P-O-U Purifiers - Ambient:
P-O-U Purifiers - Heated Getters:
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MicroTorr Inline
Die MicroTorr Reiniger von SAES verwenden eine Vielzahl von getter-stabilisiertem Zeoliten (GSZ), speziell entwickelt, um bei Umgebungstemperatur eingesetzt zu werden. Die verwendeten GSZ Medien sind für Bulk- und Spezialgasanwendungen optimiert. Der große Oberflächenbereich von GSZ Medien liefert EINE hohe Flussfähigkeit und eine hohe Kapazität in einem kleinen Paket.
Die MicroTorr Gasreiniger werden in verschiedenen Größen für individuelle Fluss- und Reinheitsanforderungen angeboten. Jeder Reiniger verwendet gasspezifische Reinigungsmedien, um Verunreinigungen bis < 1 ppb zu entfernen. Die MicroTorr Serie wurde für größtmögliche Anwendungsflexibilität entwickelt. Zusätzlich zu den verschiedenen Größen basierend auf der Flussrate sind verschiedene Ventil- und Filterkonfigurationen verfügbar.
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Spezifikationen für verschiedene Abmessungen
Gerätenummer
(Click for PDF) |
Max Flow
(slpm) |
Nominal Flow
(slpm) |
Max PSIG |
Diameter
(in [mm]) |
Face to
Face
(inches [mm]) |
Face to
Face
with valves
(inches [mm]) |
| MC1-*F |
5 |
500 sccm |
1,000 |
1.5 [38.1] |
3.31 [84.1] |
8.91 [226.3] |
| MC50-*F |
10 |
1.5 |
1,000 |
1.5 [38.1] |
5.0 [127] |
10.60 [269.2] |
| MC190-*F |
50 |
5 |
250 |
2.0 [50.8] |
8.2 [208.3] |
13.80 [350.5] |
| MC200-* |
50 |
5 |
250 |
2.0 [50.8] |
6.3 [160] |
11.90 [302.3] |
| MC400-* |
60 |
9 |
250 |
3.0 [76.2] |
8.2 [208.3] |
13.80 [350.5] |
| MC450-* |
60 |
9 |
250 |
3.0 [76.2] |
7.94 [201.7] |
13.54 [343.9] |
| MC500-* |
100 |
12 |
250 |
2.0 [50.8] |
12.5 [317.5] |
18.10 [459.7] |
| MC1500-* |
250 |
40 |
250 |
3.0 [76.2] |
18.2 [462.3] |
28.84 [732.5] |
| MC3000-* |
500 |
80 |
250 |
4.0 [101.6] |
20.0 [508.0] |
30.64 [778.3] |
| MC4500-* |
1000 |
200 |
250 |
6.0 [152.4] |
27.64 [702.6] |
38.3 [972.8] |
| MC9000-* |
1000 |
300 |
250 |
6.0 [152.4] |
39.34 [999.7] |
50.00 [1270.0] |
| HP190-*F |
50 |
5 |
1,000 |
2.0 [50.8] |
8.2 [208.3] |
13.80 [350.5] |
| HP400-*F |
60 |
9 |
1,000 |
3.0 [76.2] |
8.2 [208.3] |
13.80 [350.5] |
| SP70-*F |
40 |
1.5 |
3,000 |
2.0 [50.8] |
5.00 [127.0] |
N/A |
| SP300-*F |
200 |
10 |
3,000 |
2.0 [50.8] |
15.00 [381.0] |
N/A |
| SP600-*F |
400 |
15 |
3,000 |
2.0 [50.8] |
25.00 [635.0] |
N/A |
| PG1-*FV |
15 |
10 |
250 |
2.0 [50.8] |
|
13.80 [350.5] |
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* Mit dem entsprechenden Mediencode unten zu ersetzen. Hinweis: Nicht alle Medien sind mit allen Reinigergrößen verfügbar. Bitte fragen Sie Ihren Handelsvertreter.
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Media Performance
| *Media |
Gases
Purified |
Impurities
Removed |
Outlet
Performance |
| 202 |
Ar, CDA, H2, He, Kr, N2, Ne, O2, Xe |
H2O |
< 1 ppb |
| 203 |
Ar, CDA, H2, He, Kr, N2, Ne, O2, Xe |
H2O, CO2,
Acids, Bases, Organics, Refractory Compounds* |
< 10 ppt |
| 206 |
CO |
H2O |
< 1 ppb |
| 402 |
AsH3 |
H2O, O2 |
< 1 ppb |
| 403 |
CDA |
Acids, Bases, Organics, Refractory Compounds* |
< 10 ppt |
| 404 |
CO2, C2H2 (Acetylene) |
NMHC |
< 1 ppb |
| 502 |
PH3 |
H2O, O2 |
< 1 ppb |
| 702 |
DMHz, NH3 |
H2O, O2, CO2 |
< 1 ppb |
| 902 |
Ar, He, Kr, N2, Ne, Xe |
H2O, O2, CO, CO2, H2 NMHC |
< 1 ppb |
| 903 |
Ar, He, Kr, N2, Ne, Xe |
O2, H2O, CO, CO2, H2,
Acids, Bases, Organics, Refractory Compounds* |
< 10 ppt |
| 904 |
H2 |
H2O, O2, CO, CO2, NMHC |
< 1 ppb |
| 905 |
C2F6, C2H6, C3F8, C3H8, C2F4H2, C4F8, C4H10, CCl4, CF4, CH4, CHF3, SF6 |
H2O, O2, CO, CO2, H2 NMHC |
< 1 ppb |
| 906 |
CDA, O2 |
H2O, CO, CO2, NMHC |
< 1 ppb |
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