Der Tracer 2 erfüllt die Anforderung nach einer präzisen, zuverlässigen Prozesskontrolle. Er ist ideal für die Entdeckung von Spurenfeuchte in Halbleiterfertigungsprozessen, Inert- und Spezialgasen, Komponenten- und Systemtests sowie Laborforschungsanwendungen geeignet.
- Nachweisgrenze: < 1 ppb
- Messbereich: 0-2000 ppb (N2/Ar), 0-500 ppb (H2), 0-1200 ppb (O2)
- Eingangsdruck: 2-10 bar
- Durchfluss: 100 ml/min
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Tracer 2™ Specifications:
| Einsatzbereich: | Edelgase: 0 - 2000 ppb
Sauerstoff: 0 - 1200 ppb
Wasserstoff: 0 - 500 ppb
♥ Cell - 700 ppt LDL |
| Sensor: | MEECO Counter flow Cell
(U.S. Patent No.s 5225065 and 5198094) |
| Genauigkeit: | Bei Inertgasen: 4% des ausgelesenen Wertes oder ± 4 ppb, jenachdem was größer ist.
Bei H2/O2: Wenn der Wert < 50 ppb ist, dann ist die Genauigkeit 6% des ausgelesenen Wertes oder ±6 ppb, jenachdem was größer ist.
Wenn der Wert >50 ppb ist, dann ist die Genauigkeit 2% des ausgelesenen Wertes oder ±20 ppb, jenachdem was größer ist. |
| Alarme: | Zwei konfigurierbare Alarme. Sie können beliebig innerhalb des Einsatzbereiches gesetzt werden.
Alternately, use it as a responsiveness check or gas trend indicator. One system alarm for cell responsiveness and flow. |
| Durchflusssteuerung: | Provided by NIST traceable mass flow controllers.
Required Flow: 1200 SCCM minimum |
| unterste Nachweisgrenze: | 1 ppb bei einer Vertrauensgrenze von 95% |
| Montage: | Standard 7" X 19" Rack Mount for up to two TRACER 2 units |
| Umgebungsbedingungen: | +10° bis +40° Celsius
20% bis 80% RH, bei nicht-kondensierender und ätzender Umgebung
eine optimale Leistung wird erreicht, wenn die Temperaturschwankungen +/-2°C nicht übersteigen. |
| Gasprobe: | Air, Argon, Carbon Dioxide, Carbon Tetrafluoride*, Helium, Hydrogen, Methane*, Neon, Nitrogen, Krypton, Sulfur Hexafluoride, Oxygen, Xenon, non-corrosive/non- toxic gases.
(* these gases may require special handling. Please consult factory before use. |
| Einlassdruck der Gasprobe: | 30 - 150 psig (2 -10,2 Bar)**
**For lower pressure, consult factory |
| Empfindlichkeit: | 0,5 ppb oder niedriger |
| Signalausgang: | One 0-5V DC and 4-20m A analog output: user defied and scaled.
RS-232 serial communication port, two level and one system alarm |
| Benutzerschnittstelle: | 2-line X 20 character Vacuum
Fluoreszenzanzeige
Folientastatur mit fünf Tasten |
| Reaktionszeit: | Reaktion auf ein Eindringen von 5 ppb beträgt bei 50% 15 Minuten. |
| Konfiguration: | TRACER 2 DUO: Zwei TRACER 2s in einem 7" X 19" Kasten. |
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