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MegaTorr Gasreiniger auf Getterbasis



Die MegaTorr Edelgasreinigungsanlagen der Baureihe MGT zeichnen sich durch ein weiterentwickeltes, optimiertes Design aus, das Reinigungsleistungen im Sub-ppb-Bereich mit einer minimierten Standfläche kombiniert. SAES Pure Gas konnte sich beim Entwurf dieser neuen Gasreiniger-Familie auf seine langjährige Erfahrung in der Entwicklung ultrahochreiner Rohrleitungskonstruktionen, fortschrittlicher Prozessmaterialanalyse und dem Stand der Technik entsprechender, integrierter Regelsysteme stützen, um alle Anforderungen im Hinblick auf niedrige Kapitalkosten, Zuverlässigkeit und hohe Leistung zu erfüllen.
Bei den Edelgasreinigern der Baureihe MGT handelt es sich um getterbasierte Gasreiniger, die ultrahochreines (UHP) Gas für Halbleiteranwendungen liefern. Die Verunreinigungswerte für O2 , H2O, CO, CO2 , H2 , CH4 und N2 werden am Gasauslass auf ppt-Werte reduziert.
Die patentierte Getterlegierung ist für den Betrieb bei hohen Temperaturen ausgelegt und entfernt die Verunreinigungen durch Bildung unumkehrbarer chemischer Verbindungen. Hinter der beheizten Gasreinigerpatrone werden H2-Verunreinigungen bei Raumtemperatur in der patentierten Wasserstoffentzugseinheit HRU (Hydrogen Removal Unit) entfernt.
Die Verunreinigungen werden auf keinen Fall wieder freigesetzt, sofern der Gasreiniger im spezifizierten Toleranzbereich betrieben wird.

Standardleistungsmerkmale:
  • Bedientafel-Benutzerschnittstelle
  • Mikroprozessorsteuerung
  • Hochtemperatur-Geräteverriegelung
  • GettSafe™ Hochtemperatur-Sicherheitsabschaltung
  • 0,003 µm Metallpartikelfilter
  • Probenentnahmeanschlüsse mit Absperrventilen am Ein- und Auslass
  • Instrumentendruckluftschalter
  • Automatischer Bypass mit Fail-open-Stellantrieb
  • Gas-Gas-Wärmetauscher
  • Elektrisches Gasvorwärmsystem
  • Luftgekühlter Wärmetauscher
  • CE Kennzeichnung in Übereinstimmung mit den EU-Sicherheitsrichtlinien
  • Relaiskontakte zur Anzeige des Gasreinigerstatus
 Anwender-Schnittstellen-Anschlüsse:
  • Alarmrelais – Relaiskontakte ermöglichen Fernerfassung von Alarmzuständen
  • Relais der Lebensstatusanzeige (LSI) – Relaiskontakte ermöglichen Fernerfassung des Gettersäulenstatus
  • Abschaltung über Fernkontakte – ermöglicht Fernabschalten des Gasreinigers
 Sonderzubehör (Optionen):
  • Massendurchflußmesser
  • Druckaufnehmer am Ein- und Auslass
  • Instrumentendruckluft-Managementsystem
  • Manuelles Bypass-Ventil (Handrad)
  • Druckluftgesteuertes manuelles Bypass-Ventil
  • Separate Steuerspannung
  • Unterbrechungsfreie Stromversorgung
  • MODBUS-Datenkommunikations-Port

PS5 - Mechanische Spezifikationen
Model Maximum Flow Average
Power
Consumption		 Maximum
Pressure
Drop		 Dimensions
(H x W x D)		 Weight
PS5-MGT15-R 15 Nm3/Hr 1 kW 0.7 bar 185 x 61 x 89 cm 204 kg
PS5-MGT15-R 30 Nm3/Hr 1.5 kW 0.7 bar 185 x 61 x 89 cm 204 kg
PS5-MGT15-R 50 Nm3/Hr 2.5 kW 1.0 bar 185 x 61 x 89 cm 240 kg
PS5-MGT15-R 60 Nm3/Hr 3.0 kW 0.7 bar 185 x 120 x 89 cm 420 kg
PS5-MGT15-R 90 Nm3/Hr 4.5 kW 0.7 bar 185 x 180 x 89 cm 660 kg
PS5-MGT15-R 100 Nm3/Hr 5.0 kW 1.0 bar 185 x 120 x 89 cm 500 kg
PS5-MGT150-R 150 Nm3/Hr 7.5 kW 1.0 bar 185 x 180 x 89 cm 750 kg
PS5 - Leistung
Gases
Purified		 Impurities
Removed		 Outlet
Performance
Rare Gases (Ar, He, Xe, Ne, Kr) H2O, O2, CO, CO2, H2, N2, CH4 < 1 ppb

© 2009 Rainer Lammertz
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