Point-of-use Gasreiniger
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Gasreiniger
   

MonoTorr Phase II 3000 & 15000 Gasreiniger

Die Forschung hat gezeigt, daß durch Point-of-use Gasreinigung eine gleichbleibende und reproduzierbare Prozeßleistung sichergestellt wird. Die Gasreinigung isoliert kritische Prozeßabschnitte von Gasversorgungssystemen und schützt vor Schwankungen in der Gasreinheit und Cross-Kontamination. Mit SAES Gasreinigern wird ein Reinheitsgrad von 99.9999999% erreicht; ein höherer Reinheitsgrad als der von Gas aus Flaschen oder Flüssigquellen.
Die beheizten Getter-Gasreiniger, Modell MonoTorr Phase II, entfernen Verunreinigungen bis in den untersten ppb Bereich aus Edelgasen, Stickstoff und Wasserstoff. Zirkonium basierte Getter bilden irreversible chemische Bindungen, um alle Oxide, Kohlenstoffverbindungen und Nitride zu entfernen. Die MonoTorr Technologie ist als einzige in der Lage, alle Kohlenwasserstoffe und Stickstoff (aus Argon und Helium) zu entfernen.

Die Leistungsgarantien sind in der folgenden Grafik dargestellt.

Weitere Key Features:

  • Integrierte Eingangs-/Ausgangsventile und automatischer Bypass
  • Mikroprozessor-Steuerung für zusätzliche Sicherheit und Automatisierung
  • Schutz vor der Aussetzung an Luft oder Sauerstoff durch patentiertes Sicherheitssystem
  • Der patentierte Lebensstatussensor warnt frühzeitig vor nahendem Durchbruch von Verunreinigungen
  • Austauschbare Getterpatrone für schnelle, einfache Wartung
Ordering Information
Part NumberDescriptionPower
Phase II, 3000
PS4-MT3-R-1Rare Gas Purifier110-120V
PS4-MT3-N-1Nitrogen Purifier110-120V
PS4-MT3-H-1Hydrogen Purifier110-120V
PS4-MT3-R-2Rare Gas Purifier220-240V
PS4-MT3-N-2Nitrogen Purifier220-240V
PS4-MT3-H-2Hydrogen Purifier220-240V
Phase II, 15000
PS4-MT15-R-1Rare Gas Purifier110-120V
PS4-MT15-N-1Nitrogen Purifier110-120V
PS4-MT15-H-1Hydrogen Purifier110-120V
PS4-MT15-R-2Rare Gas Purifier220-240V
PS4-MT15-N-2Nitrogen Purifier220-240V
PS4-MT15-H-2Hydrogen Purifier220-240V
Options
PS4-APIMSAPIMS cerification to 1 ppb
Spare Parts(Replacement cartridges are field replaceable)
PF4-C3-R-1Rare Gas 3000 Cartridge110-120V
PF4-C3-N-1Nitrogen 3000 Cartridge110-120V
PF4-C3-H-1Hydrogen 3000 Cartridge110-120V
PF4-C3-R-2Rare Gas 3000 Cartridge220-240V
PF4-C3-N-2Nitrogen 3000 Cartridge220-240V
PF4-C3-H-2Hydrogen 3000 Cartridge220-240V
PF4-C15-R-1Rare Gas 15000 Cartridge110-120V
PF4-C15-N-1Nitrogen 15000 Cartridge110-120V
PF4-C15-H-1Hydrogen 15000 Cartridge110-120V
PF4-C15-R-2Rare Gas 15000 Cartridge220-240V
PF4-C15-N-2Nitrogen 15000 Cartridge220-240V
PF4-C15-H-2Hydrogen 15000 Cartridge220-240V
Rare Gas
Nitrogen
Hydrogen
MonoTorr Phase II Performance Guarantee
Phase II 3000Phase II 15000
Inlet Impurity0-20 slpm20-50 slpmInlet Impurity0-30 slpm30-75 slpm
O2< 1 ppb< 1 ppbO2< 1 ppb< 1 ppb
H2O< 1 ppb< 1 ppbH2O< 1 ppb< 1 ppb
CO< 1 ppb< 1 ppbCO< 1 ppb< 1 ppb
CO2< 1 ppb< 1 ppbCO2< 1 ppb< 1 ppb
N2< 1 ppb< 10 ppbN2< 1 ppb< 10 ppb
H2< 1 ppb< 10 ppbH2< 1 ppb< 10 ppb
CH4< 1 ppb< 10 ppbCH4< 1 ppb< 10 ppb
Inlet Impurity0-20 slpm20-30 slpmInlet Impurity0-30 slpm30-50 slpm
O2< 1 ppb< 1 ppbO2< 1 ppb< 1 ppb
H2O< 1 ppb< 1 ppbH2O< 1 ppb< 1 ppb
CO< 1 ppb< 1 ppbCO< 1 ppb< 1 ppb
CO2< 1 ppb< 1 ppbCO2< 1 ppb< 1 ppb
N2< 1 ppb< 10 ppbN2< 1 ppb< 10 ppb
CH4< 1 ppb< 10 ppbCH4< 1 ppb< 10 ppb
Inlet Impurity0-20 slpm20-30 slpmInlet Impurity0-30 slpm30-50 slpm
O2< 1 ppb< 1 ppbO2< 1 ppb< 1 ppb
H2O< 1 ppb< 1 ppbH2O< 1 ppb< 1 ppb
CO< 1 ppb< 1 ppbCO< 1 ppb< 1 ppb
CO2< 1 ppb< 1 ppbCO2< 1 ppb< 1 ppb
N2< 1 ppb< 10 ppbN2< 1 ppb< 10 ppb
© 2012 Rainer Lammertz
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